ULVAC愛發科的多級羅茨型干泵RS系列，憑借其無油清潔、穩定可靠及出色的耐腐蝕和粉末處理能力，在多個對真空環境有苛刻要求的工業領域發揮著重要作用。其核心價值在于能為各類制造和科研環節提供潔凈、干燥的真空環境。

?? 半導體與電子器件制造

在半導體和電子器件制造領域，RS系列干泵是刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等關鍵工藝設備真空排氣系統的核心部件。這些工藝環節常常會用到腐蝕性氣體并可能產生顆粒物，RS系列干泵通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，具備了優良的耐腐蝕性，并能實現高性能的粉末排出，從而保障生產過程的連續穩定。

?? 鋰電池制造

在新能源領域，RS系列干泵廣泛應用于鋰電池制造設備的真空排氣系統，例如電極干燥設備、脫泡設備和注液設備。在這些工序中，維持一個潔凈無油的真空環境至關重要，可以避免油蒸氣污染電極材料，確保電池產品的安全性和一致性。

?? 真空熱處理

在真空熱處理領域，如燒結爐、滲碳爐等熱處理設備的真空排氣系統，也可見到RS系列干泵的身影。它能夠從大氣壓到極限壓力在全壓力區域連續穩定運行，滿足熱處理工藝各階段對真空度的不同要求。

?? 醫療與食品設備

在醫療和食品行業，對生產設備的潔凈度和衛生安全要求高。RS系列干泵用于冷凍干燥設備、真空干燥設備等相關真空排氣系統。其無油操作的特性避免了油污染風險，非常適合于藥品、生物制品和熱敏性食品的干燥與保存。

?? 科研與真空鍍膜

在科學研究及真空鍍膜領域，RS系列干泵同樣表現出色。它能用于濺射、蒸發等真空設備，為科研和工業鍍膜提供潔凈的真空基礎環境。一些多級羅茨泵也適用于科研、太陽能、鍍膜等行業，能夠應對包括純凈、粉塵污染、氣體腐蝕等不同負載要求。

?? 技術優勢

RS系列干泵的上述廣泛應用，得益于其多項核心技術優勢：

• 潔凈無油：泵腔內不使用真空油進行潤滑，避免了烴類污染，保證了工藝介質的純凈。

• 強韌穩定：對關鍵部件進行特殊涂層處理以防腐蝕，并采用獨特設計的轉子軸實現高性能的排粉，能在苛刻工藝中長時間穩定運轉。

• 高效節能與便捷維護：采用空冷式設計，無需冷卻水和氮氣，有助于降低運行成本。此外，其消音器組件（如RS-01）可通過卡箍快速連接到泵的排氣口，安裝便捷，并能有效降低運行噪音。