在半導(dǎo)體制造車間內(nèi)，一臺(tái)比家用冰箱還小的設(shè)備正以每秒5組數(shù)據(jù)的速度，同時(shí)監(jiān)測(cè)著28種不同的廢氣成分，而這一切在十年前需要一個(gè)房間的儀器才能完成。

HORIBA APNA-370能夠檢測(cè)低至0.5 ppb的氮氧化物濃度，這個(gè)數(shù)值比一粒鹽溶解在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)游泳池中的濃度還要低一千倍。

01 行業(yè)挑戰(zhàn)：氮氧化物監(jiān)測(cè)的復(fù)雜性演進(jìn)

氮氧化物作為主要大氣污染物，不僅會(huì)形成光化學(xué)煙霧和酸雨，還直接影響人體健康。隨著環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)不斷升級(jí)，氮氧化物監(jiān)測(cè)面臨著的技術(shù)挑戰(zhàn)。

現(xiàn)代排放測(cè)試環(huán)境需要同時(shí)應(yīng)對(duì)多種新型污染物，如歐7和國7法規(guī)新增的NH?、N?O等非常規(guī)污染物，傳統(tǒng)單一檢測(cè)器已無法滿足需求。

排放監(jiān)測(cè)場(chǎng)景也日益復(fù)雜，從傳統(tǒng)的固定監(jiān)測(cè)站拓展到實(shí)際道路行駛排放測(cè)試，設(shè)備需要在劇烈振動(dòng)和溫度變化下保持?jǐn)?shù)據(jù)精度。

“臺(tái)設(shè)備能否同時(shí)測(cè)量多種污染物？"成為行業(yè)亟待解決的技術(shù)難題。

02 技術(shù)革新：三大技術(shù)路徑的演進(jìn)對(duì)比

HORIBA的技術(shù)演進(jìn)呈現(xiàn)出清晰的階梯式發(fā)展路徑，從成熟的化學(xué)發(fā)光法到創(chuàng)新的激光光譜技術(shù)，每一步都對(duì)應(yīng)著不同的應(yīng)用場(chǎng)景和性能需求。

化學(xué)發(fā)光法（CLD） 作為成熟技術(shù)，在APNA-370中采用雙向交替流動(dòng)調(diào)制設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了單檢測(cè)器同時(shí)對(duì)NO、NO2和NOx的連續(xù)監(jiān)測(cè)。該技術(shù)檢測(cè)下限可達(dá)0.5 ppb，響應(yīng)時(shí)間在120秒以內(nèi)。

量子級(jí)聯(lián)激光（QCL） 技術(shù)則代表了新突破。MEXA-ONE-QL-NX分析儀將基于量子級(jí)聯(lián)技術(shù)的光源與高精度調(diào)整的雙路徑池相結(jié)合，能夠直接、同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量NO、NO2、N2O和NH3四種成分。

IRLAM™技術(shù) 是HORIBA自主創(chuàng)新的紅外氣體測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)了低干擾、低噪聲的測(cè)量，同時(shí)兼具高靈敏度和寬量程的特性。

下面的表格展示了這三大技術(shù)路徑的核心特征：

03 系統(tǒng)集成：FTIR技術(shù)的全面突破

HORIBA FTX-ONE-CS/RS系列直接將多組分同步監(jiān)測(cè)推向全新高度，基于傅里葉變換紅外光譜技術(shù)，形成了“多組分同步檢測(cè)、無稀釋直接測(cè)量、全程高溫防凝、高速響應(yīng)"四大優(yōu)勢(shì)。

這一突破性系統(tǒng)能夠同步測(cè)量28種廢氣組分，覆蓋常規(guī)污染物到非常規(guī)污染物及VOCs，實(shí)現(xiàn)了真正意義上的全譜分析。相比傳統(tǒng)方案需要搭配5-6臺(tái)設(shè)備的繁瑣配置，F(xiàn)TX-ONE系列只需一臺(tái)設(shè)備即可完成，節(jié)省了約70%的實(shí)驗(yàn)室空間。

系統(tǒng)的直接測(cè)量和全程高溫設(shè)計(jì)有效解決了傳統(tǒng)稀釋法導(dǎo)致的易凝組分損失問題。采樣管線、光學(xué)池全程加熱至113℃±6℃或191℃±6℃，適配重型柴油機(jī)、船舶發(fā)動(dòng)機(jī)等高溫高濕排放場(chǎng)景。

04 設(shè)計(jì)創(chuàng)新：小型化與智能化的雙重突破

HORIBA在儀器設(shè)計(jì)上同樣展現(xiàn)出革命性思維。ENDA-600ZG系列煙氣監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采用直接觸摸式顯示屏，界面友好，易于操作，其體積縮小至舊機(jī)型的50%。

緊湊化設(shè)計(jì)背后的技術(shù)創(chuàng)新令人印象深刻：分析儀將多個(gè)單元整合成一個(gè)緊湊系統(tǒng)，相比傳統(tǒng)系統(tǒng)減少了約50%的管子和管道數(shù)量，同時(shí)功耗大幅降低。

在智能化方面，F(xiàn)TX-ONE-CS/RS采用了自適應(yīng)基線校正算法，能自動(dòng)消除環(huán)境溫度、壓力變化對(duì)光譜基線的影響。內(nèi)置交叉干擾校正模型，針對(duì)28種組分的光譜重疊區(qū)域進(jìn)行算法補(bǔ)償，確保低濃度組分測(cè)量準(zhǔn)確。

維護(hù)優(yōu)化也是設(shè)計(jì)創(chuàng)新的重要體現(xiàn)。APNA-370配置了具有自動(dòng)循環(huán)功能的干燥單元，為臭氧發(fā)生器提供干燥空氣，使長期連續(xù)監(jiān)測(cè)成為可能。

05 場(chǎng)景適配：從固定站到移動(dòng)測(cè)試的全覆蓋

HORIBA的氮氧化物監(jiān)測(cè)技術(shù)已形成完整的產(chǎn)品矩陣，能夠覆蓋從環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)到發(fā)動(dòng)機(jī)研發(fā)的全場(chǎng)景需求。

環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè) 是APNA-370的主要應(yīng)用領(lǐng)域。這款儀器適用于城市空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)站、背景站和區(qū)域站等場(chǎng)景，其高靈敏度特性能夠精確監(jiān)測(cè)環(huán)境空氣中低濃度的氮氧化物。

發(fā)動(dòng)機(jī)與后處理系統(tǒng)研發(fā) 則是MEXA-ONE系列的專長領(lǐng)域。隨著歐7/VII和國7等下一階段排放法規(guī)的實(shí)施，對(duì)N2O和NH3等組分的監(jiān)測(cè)需求日益增加，而MEXA-ONE系列正好滿足了這些新興需求。

實(shí)際道路排放測(cè)試 要求設(shè)備具備便攜性和抗干擾能力。MEXA-ONE系列能夠在受控和實(shí)際環(huán)境中均大限度減少測(cè)量誤差，集成HORIBA的IRLAM™技術(shù)具有的抗振動(dòng)和溫度變化穩(wěn)定性。

06 前沿探索：可持續(xù)發(fā)展與技術(shù)融合

HORIBA正在將氮氧化物監(jiān)測(cè)技術(shù)拓展至更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，公司推出的非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀CS-900采用吸收光譜原理，能夠直接、穩(wěn)定地測(cè)量化學(xué)物質(zhì)濃度。

支持碳中和燃料分析成為新的技術(shù)方向。MEXA-ONE系列已能支持來自氫、氨等碳中性燃料高含水量尾氣的分析，有助于推動(dòng)下一代移動(dòng)出行技術(shù)的發(fā)展。

值得一提的是，HORIBA甚至將監(jiān)測(cè)技術(shù)應(yīng)用于特殊科研場(chǎng)景，如測(cè)量牛打嗝產(chǎn)生的甲烷和二氧化碳等特殊場(chǎng)景，展現(xiàn)了技術(shù)應(yīng)用的廣泛可能性。

一輛搭載MEXA-ONE系列設(shè)備的測(cè)試車輛正行駛在山區(qū)公路上，系統(tǒng)以每秒5次的頻率采集排放數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)分析多達(dá)28種污染物濃度。與此同時(shí)，城市另一端的空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)站里，APNA-370正以0.5ppb的精度記錄著空氣中氮氧化物的微小變化。

這些看似獨(dú)立的監(jiān)測(cè)節(jié)點(diǎn)，通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)連接在一起，正構(gòu)建著一張覆蓋從固定源到移動(dòng)源、從傳統(tǒng)燃料到新能源的全面氮氧化物監(jiān)測(cè)網(wǎng)絡(luò)。